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抗靜電塑料在半導體制造中的角色

靜電在自然界中幾乎無處不在,主要由摩擦引起。大家熟悉的塑料摩擦起電實驗,就是將塑料筆在頭發上摩擦后吸引碎紙屑的現象。

一、抗靜電塑料的半導體領域應用

半導體制造對操作的準確性和潔凈度要求極高,因此在晶圓廠的保護措施及后續實際應用中,抗靜電塑料發揮著至關重要的作用。

蘇州展格新材料有限公司專注于提供半導體產品生產中的襯墊,超薄厚度為0.025mm-0.075mm,并可實現雙面抗靜電。

產品特性

  • 表面光亮。
  • 抗靜電值穩定。
  • 無移行性、不沾黏。
  • 膜片平坦、潔凈度高。

PET雙面抗靜電

  • 抗靜電阻抗值:106Ω~109Ω
  • PET膜:250μm~750μm
  • 抗靜電阻抗值:106Ω~109Ω
1. 靜電對半導體的危害
  • 器件靜電損傷
    在芯片的整個制造過程中,尤其是集成度高或尺寸較小的芯片,對靜電非常敏感,易受到相關設備或工具產生的靜電損傷。
  • 靜電吸附塵埃和污染物,降低成品率
    半導體光刻工序對塵埃極其敏感。在曝光過程中,無論是在晶片上還是防護罩上,任何塵埃都可能導致芯片圖形失效。而在外延生產過程中,晶片表面沾染塵埃會導致生長率偏離、不完美,以及晶粒生長或晶體結構的錯位。
2. 抗靜電塑料的作用

抗靜電塑料的主要功能是防止半導體制造過程中的靜電產生,從而減少顆粒污染,提高晶圓的搬運、存儲和轉移的可靠性。抗靜電塑料廣泛應用于制作晶圓盒、光罩盒、晶圓梳、夾具、托盤、真空吸筆以及潔凈室的建設等。

二、抗靜電塑料的原理

1. 塑料的抗靜電方法

盡管大多數塑料是電絕緣材料,具有較高的電阻率,但因摩擦等原因,依然會帶上靜電,導致吸塵和放電現象。

當前,主要有兩種方法用于降低塑料的電阻:表面處理和添加導電性物質。最常用的方法是在內部或表面添加抗靜電劑,以降低塑料表面電阻,賦予其抗靜電性能。

2. 抗靜電劑的作用

抗靜電劑是指能降低塑料表面電阻并防止靜電堆積的材料。它們在塑料加工和使用過程中遷移至表面,形成一層抗靜電劑膜,加速靜電荷的“泄漏”。

抗靜電劑作為一種表面活性劑,包含親水基和憎水基,其作用包括:

  1. 在塑料表面形成平滑的抗靜電劑分子層,減少摩擦,從而降低靜電產生。
  2. 抗靜電劑分子層具有一定的導電性,能夠迅速使靜電“泄漏”。
  3. 抗靜電劑分子本身帶有電荷,能夠中和靜電,消除電荷積累。
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