抗靜電塑料在半導體制造中的角色

靜電在自然界中幾乎無處不在，主要由摩擦引起。大家熟悉的塑料摩擦起電實驗，就是將塑料筆在頭發上摩擦后吸引碎紙屑的現象。

一、抗靜電塑料的半導體領域應用

半導體制造對操作的準確性和潔凈度要求極高，因此在晶圓廠的保護措施及后續實際應用中，抗靜電塑料發揮著至關重要的作用。

蘇州展格新材料有限公司專注于提供半導體產品生產中的襯墊，超薄厚度為0.025mm-0.075mm，并可實現雙面抗靜電。

產品特性

• 表面光亮。
• 抗靜電值穩定。
• 無移行性、不沾黏。
• 膜片平坦、潔凈度高。

PET雙面抗靜電

• 抗靜電阻抗值：10⁶Ω~10⁹Ω
• PET膜：250μm~750μm
• 抗靜電阻抗值：10⁶Ω~10⁹Ω

1. 靜電對半導體的危害

• 器件靜電損傷
  在芯片的整個制造過程中，尤其是集成度高或尺寸較小的芯片，對靜電非常敏感，易受到相關設備或工具產生的靜電損傷。
• 靜電吸附塵埃和污染物，降低成品率
  半導體光刻工序對塵埃極其敏感。在曝光過程中，無論是在晶片上還是防護罩上，任何塵埃都可能導致芯片圖形失效。而在外延生產過程中，晶片表面沾染塵埃會導致生長率偏離、不完美，以及晶粒生長或晶體結構的錯位。

2. 抗靜電塑料的作用

抗靜電塑料的主要功能是防止半導體制造過程中的靜電產生，從而減少顆粒污染，提高晶圓的搬運、存儲和轉移的可靠性。抗靜電塑料廣泛應用于制作晶圓盒、光罩盒、晶圓梳、夾具、托盤、真空吸筆以及潔凈室的建設等。

二、抗靜電塑料的原理

1. 塑料的抗靜電方法

盡管大多數塑料是電絕緣材料，具有較高的電阻率，但因摩擦等原因，依然會帶上靜電，導致吸塵和放電現象。

當前，主要有兩種方法用于降低塑料的電阻：表面處理和添加導電性物質。最常用的方法是在內部或表面添加抗靜電劑，以降低塑料表面電阻，賦予其抗靜電性能。

2. 抗靜電劑的作用

抗靜電劑是指能降低塑料表面電阻并防止靜電堆積的材料。它們在塑料加工和使用過程中遷移至表面，形成一層抗靜電劑膜，加速靜電荷的“泄漏”。

抗靜電劑作為一種表面活性劑，包含親水基和憎水基，其作用包括：

1. 在塑料表面形成平滑的抗靜電劑分子層，減少摩擦，從而降低靜電產生。
2. 抗靜電劑分子層具有一定的導電性，能夠迅速使靜電“泄漏”。
3. 抗靜電劑分子本身帶有電荷，能夠中和靜電，消除電荷積累。